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PAMS 계열의 장비는 결정회전법(Modified crystal rotation method)을 변형하여 액정분자의 꼬임각(twist angle)에 상관없이 모든 범위의 프리틸트 각(0도 ~ 90도)과 셀갭(cell gap)을 높은 정확도로 잰다.
통상적으로 써온 결정회전법에서는 두꺼운 셀을 써야 했으나, PAMS는 실제 패널 상태에서 재므로 두꺼운 셀에서 나타는 프리틸트 각의 불균일성이 생기지 않는다.
또한 PAMS는 유리와 공기 사이의 반사에 의한 Fabry-Perot 현상을 현저하게 줄이고, TFT나 BM, 산란에 의한 광손실이 자연 보정된다.
얇은 셀의 경우 장치의 원점이 잘 맞아야 하는데,
PAMS는 원점 측정용 광다이오드로 레이저 빔의 원점을 정확하게 찾는다.
 

 
주요특징
 

얇고, 꼬인 액정셀의 프리틸트 각과 셀갭 측정

 

Fabry-Perot 효과 억제

 

TFT, BM 및 산란손실 자동 보정




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