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CGMS 계열의 장비는 빈셀, 액정셀 등 액정셀의 셀갭을 잰다.
빈셀의 경우 셀을 지나온 간섭신호의 분광분포를 재므로 셀갭을 정확하게 결정할 수 있고 ITO, PI 등의 박막의 영향을 고려하여
정확도를 높혔다. 액정셀의 경우 셀을 지나온 빛의 직교하는 두 선편광 성분의 밝기를 재고 이를 규격화한다.
규격화 과정에서 TFT, BM과 광산란에 의한 광손실을 보정한다.
수직배향(vertically allined) 셀의 경우에는 액정셀 또는 장치를 45도 기울여 측정한다.

 
주요특징
 

빈셀(Empty Cell), 액정셀(Filled Cell)의 셀갭 측정

 

빈셀: ITO, PI 등을 고려한 시뮬레이션

 

IPS, VA, TN, STN 셀 등의 셀갭 측정




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