|
LC Panel을 임피던스(impedance)센서로 쓰면,
왜곡이 없이 넓은 면적의 임피던스 분포를 쉽게 알 수 있다.
액정층과
X-ray 감지막을 직렬로 연결된 구조로 두고, 양단에 바이어스 전압을
인가한다. X-선이 들어오면, 감지막의 임피던스가
작아져서, 액정층에
걸린 전압이 커진다. 각 화소마다 투과율을 CCD로 써서 잰다. 액정판
자체가 high impedance 이므로 왜곡이
없는 상태로 임피던스 분포를
알 수 있다.
X-선의 영상을 찍는데 쓰이는 액정판을 XLV(X-ray
Light Valve)라고 부른다. XLV에 대한 개념은 1980년대에
나왔지만, Image를
촬영하지 못했다. 세심광전자기술㈜에서
2004년 10월 GaAs를 써서 x-ray Pattern Image를 세계에서 최초로
촬영하였다.
세심광전자기술㈜에서는 3세대(370×470mm)TFT
LCD Line을 이용하여, 모든 공정을 TFT LCD Line에서 완결하는 XLV에
대하여
연구개발하고있다.
|
Home
》Product 》X-선 검출기
