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   CGMS 계열의 장치는 빈셀, 액정셀 등 액정셀의 셀갭을 잰다.
   빈셀의 경우 셀을 지나온 간섭신호의 분광분포를 재므로 셀갭을 정확하게 결정할 수 있고 ITO, PI 등의 박막의 영향을 고려하여
   정확도를 높혔다. 액정셀의 경우 셀을 지나온 빛의 직교하는 두 선편광 성분의 밝기를 재고 이를 규격화한다. 규격화 과정에서
   TFT, BM과 광산란에 의한 광손실을 보정한다. 수직배향(vertically allined) 셀의 경우에는 액정셀 또는 장치를 45도 기울여 측정
   한다.

 


 



 빈셀, 액정셀의 셀갭 측정

 빈셀: ITO, PI 등을 고려한 시뮬레이션

 IPS, VA, TN, STN 셀 등의 셀갭 측정

 

 


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